鎢燈絲低真空掃描電鏡是一種利用電子束與樣品相互作用產(chǎn)生信號(hào),通過檢測(cè)這些信號(hào)來獲取樣品表面形貌和成分信息的顯微鏡。與傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡相比,它具有更高的分辨率、更大的景深和更廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。一、工作原理1、電子槍:鎢燈絲低真空掃描電鏡的核心部件是電子槍,它負(fù)責(zé)產(chǎn)生高能電子束。電子槍中的鎢燈絲在高溫下發(fā)射電子,經(jīng)過加速電壓加速后形成高速電子束。2、電子束聚焦系統(tǒng):電子束經(jīng)過一系列的電磁透鏡聚焦,最終形成一個(gè)非常細(xì)小的電子探針。這個(gè)探針對(duì)樣品表面進(jìn)行掃描,激發(fā)出各種信號(hào)。3、樣品室...
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