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掃描電子顯微鏡在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性很大程度上受表面的微觀狀態(tài)影響，在切割、研磨、拋光以及各種化學(xué)試劑處理等工序下，器件表面的結(jié)構(gòu)會(huì)產(chǎn)生很大變化，所以幾乎每一個(gè)半導(dǎo)體工藝之后都需要專用的檢測設(shè)備觀察或測量半導(dǎo)體器件的微觀形貌。半導(dǎo)體工藝中對掃描電子顯微鏡的需求主要有兩大方向：一是發(fā)揮其放大功能，對IC器件的正面結(jié)構(gòu)進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測；二是利用其剖面分析功能，并與樣品制備技術(shù)有機(jī)結(jié)合，系統(tǒng)地分析IC工藝及器件的剖面復(fù)合結(jié)構(gòu)，為生產(chǎn)及研發(fā)提供其他測試分析儀器所無法提供的直接測量。掃描電子顯微鏡（S...

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掃描電鏡在合金金相分析中的應(yīng)用

我國著名科學(xué)家王大珩院士曾指出“儀器是認(rèn)識世界的工具！”電子顯微鏡作為一種常規(guī)的認(rèn)識亞微米以及納米尺度微觀世界的重要工具，在合金金相分析的過程中發(fā)揮了重要作用。本文著重從金相的定義、金相的類型、金相分析的應(yīng)用、掃描電鏡在合金金相分析中的應(yīng)用、金相分析應(yīng)用實(shí)例等方面進(jìn)行闡述。什么是金相？“金”指金屬和合金，“相”指合金中具有同一晶體結(jié)構(gòu)、同一性質(zhì)、均勻化學(xué)成分并以一定界面相互隔開的組成部分。那么金相體現(xiàn)了金屬和合金內(nèi)部結(jié)構(gòu)、性質(zhì)、成分、分布。目前使用廣泛的是由鐵和碳組成的合金，...

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見微知著丨日常食用的米和糖，你真的了解嗎？

人的眼睛大約有六百萬個(gè)視錐細(xì)胞，能觀察5.76億像素，分辨率可達(dá)0.2mm，在眼球轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)我們可以看到更加廣闊的世界。那么肉眼看不見的微觀世界是什么樣呢？其實(shí)更加紛繁復(fù)雜，我們可以借助掃描電子顯微鏡進(jìn)行深入的學(xué)習(xí)和研究。民以食為天，隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，消費(fèi)者的健康意識升級，健康、美味、營養(yǎng)的米和糖受到大眾的喜愛，不過日常食用的米和糖您真的了解嗎？中科科儀應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室做了一組實(shí)驗(yàn)，讓我們來一探虛實(shí)。大米&小米我們?nèi)粘Ｊ秤玫奈骞入s糧通常分為細(xì)糧和粗糧。細(xì)糧得代表就是大米，又稱粳米或精米。...

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掃描電鏡在磷酸鐵鋰制備中的應(yīng)用

掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像，在鋰電正極材料——磷酸鐵鋰制備的過程中發(fā)揮著重要的作用。本文主要從磷酸鐵鋰的簡介、掃描電鏡在磷酸鐵鋰制備過程中的應(yīng)用、磷酸鐵鋰的掃描電鏡觀測圖三方面進(jìn)行闡述。近年來，面對能源危機(jī)、氣候危機(jī)，新能源的發(fā)展顯得極為迫切。鋰離子電池作為一種二次電池，因具有較高的比能量密度，被廣泛用于移動(dòng)、動(dòng)力交通和能量儲存設(shè)備。鋰離子電池由正極片、正極集流體、負(fù)極片、負(fù)極集流體、隔膜、PTC...

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掃描電鏡在鈣鈦礦太陽能電池中的應(yīng)用

隨著太陽能電池研發(fā)制備技術(shù)的升級，全固態(tài)鈣鈦礦太陽能電池（perovskitesolarcells，簡稱PSCs）因成本低、光電轉(zhuǎn)換效率高，成為光伏領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。相比于前幾代光電轉(zhuǎn)換材料，鈣鈦礦材料兼具了高效率和低成本制備的優(yōu)勢，未來發(fā)展?jié)撃芫薮蟆呙桦婄R作為一種運(yùn)用廣泛的微區(qū)分析產(chǎn)品，常用于查看各種固態(tài)物質(zhì)表面的微結(jié)構(gòu)和組成成分，尤其對于觀察鈣鈦礦薄膜覆蓋率和表面平整度、晶體質(zhì)量等有巨大的幫助，也是測量薄膜厚度最直接的方式之一。本文從鈣鈦礦的基本概念及工作原理、KYKY場...

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掃描電鏡在陶瓷材料中的應(yīng)用——鐵電陶瓷

鐵電陶瓷是具有鐵電性的陶瓷材料，是陶瓷材料中的重要分支之一。鐵電性的具體表現(xiàn)為電偶極子相互作用產(chǎn)生自發(fā)平行排列的現(xiàn)象，與鐵磁性類似。在低于某溫度時(shí)由熱能所造成的偶極子混亂排列被局部電場克服，從而產(chǎn)生自發(fā)極化，這時(shí)所有電偶極子都排成平行陣列。鐵電陶瓷在低于居里溫度時(shí)電偶極子能夠自發(fā)極化使材料表現(xiàn)出很高的介電常數(shù)，并且自發(fā)極化方向能隨外場方向改變。介電常數(shù)越大，束縛電荷或者說存儲電荷的能力越強(qiáng)，材料的絕緣性越好。常見的鐵電體有鈦酸鋇、鈦酸鉛、磷酸二氫鉀、Rochelle鹽等。鐵電...

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